金沙(9570·SViP认证)官方登录入口/GREENMAX

蒸镀机系列-FS-G1-3

FS--G1-3网页.jpg

产品参数

极限真空 ≤2×10 -5Pa 保压12小时 压强≤5P a

膜厚均匀性 ≥97% 重复性 ≥97%

基片尺寸 ≤200×200mm

样品腔标准为10层卡夹 可存放基片与mask


适用范围

OLED材料量产前验证、微显示器件的研发等。


核心技术

真空密封设计、高精密对位、膜厚及真空压力控制。


产品特色

小方块.jpg 一体化程度高,适配性强,可对接多种功能的设备。

小方块.jpg 智能性强,操作系统植入误操作互锁程序,可避免操作失误。

小方块.jpg 可实现自动取放基片以及更换mask。

小方块.jpg 功能性强,有2 0 组蒸发源,可做到多源共蒸,几乎满足所有的蒸镀要求。