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蒸镀机系列-FS500

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产品参数

整机尺寸 ≤1.2(L)×0.9(W)×2(H)(单位:M)

极限真空 ≤2×10 -5Pa 保压12小时 压强≤5P a

膜厚均匀性 ≥95% 重复性 ≥95% 速率稳定性≥95%

基片尺寸 ≤40×40mm 数量6片

≤50×50mm 数量4片

有12个mask位置 每个基片对应3个位置


适用范围

OLED材料验证、光电器件结构优化等。


产品特色

小方块.jpg 膜厚均匀性高,重复性强,速率稳定性高。

小方块.jpg 有16组蒸发源,可做到4源共蒸。

小方块.jpg 蒸镀器件效率高,寿命长,可满足顶发射器件制备要求。

小方块.jpg 占地面积小,使用成本低,维护成本低,性价比高。