产品定位
中试线
适用范围
OLED材料量产前验证、微显示器件的生产等。
核心技术
真空密封技术、高精密对位技术、膜厚及真空压力精确控制技术。
产品特色
◆ 一体化程度高，适配性强，采用团簇式结构，可对接多种功能的设备。
◆ 智能性强，操作系统植入误操作互锁程序，可避免操作失误。
◆ 效率高，采用较大容积的坩埚和双探头设计，避免了经常性的开腔添加材料和更换晶振片。
◆ 可实现自动取放基片以及更换mask。
